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2019?光刻胶先进技术和产业利用钻研会在赤峰成功进行

2019-9-10 分享：

　　光刻胶作为电子化学品中技术壁垒最高的资料，重要利用于集成电路芯片、半导体分立器件、发光二极管(LED)、新型显示、晶圆级先进封装、MEMS、印刷电路板(PCB)以及其他涉及到图形转移的造程。半导体领域，目前国内集成电路用 i 线光刻胶国产化率 10% 左右，集成电路用 KrF 光刻胶国产化率不及 1%，ArF 干式光刻胶、 ArFi光刻胶、 EUV 光刻胶全数依赖进口;平板显示领域，目前国内OLED、高世代TFT-LCD显示用彩色光刻胶重要依赖进口。为尽快推动国内高端光刻胶产业急剧发展，预防产业升级受造于人，同时加强技术研发与互换，由中国电子资料行业协会、电子化工新资料产业联盟结合主办，中国感光学会支持，赤峰沙巴电竞集团承办的“2019?光刻胶先进技术和产业利用钻研会”于2019年9月6日-8日在泉城赤峰成功进行。

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大会现场

　　1)开幕式

　　会议由中国电子资料行业协会常务副秘书长、电子化工新资料产业联盟秘书长鲁瑾主持。赤峰沙巴电竞集团研发副总裁唐磊到会并致辞。中国感光学会、北京化工大学聂俊教授，中国科学院大学、中国科学院化学钻研所杨国强副校长，中国感光学会辐射固化专业委员会荣誉主任、清华大学洪啸吟教授，江苏南大光电资料股份有限公司许从应副总裁，中芯国际北方集成电路创新中心康劲总经理，京东方科技集团股份有限公司赵荟鑫部长，山东大学、国度胶体资料工程技术钻研中心康文兵教授，郑州星泰克微电子资料有限公司孙逊运董事长，默克集团公司郑金福产品开发部经理，沙巴电竞刘斌研发经理，商丘强力电子新资料股份有限公司胡春青研发总监，攀枝花欣奕华资料科技有限公司黄常刚BU总经理在会上做杰出汇报。

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鲁瑾常务副秘书长

　　唐磊副总裁在致辞中指出，光刻胶在平板显示领域、半导体加工造作领域、PCB领域是关键原料，而中国目前自己能出产的比例还极其之少，而光刻胶的原料也是短板项目。全球用于平板显示、IC的光刻胶市场规模达到40亿美元以上，中国市场达到90亿元人民币。中美业务战，日韩业务战给中国带来了史无前例的机缘。

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唐磊副总裁

　　2)主题演讲

　　聂俊教授作了题为《光聚合基础与利用》的汇报。他指出，光聚合是以光为动力，让单体迅速转化为聚合物的聚合步骤，拥有反映前提和善、反映速度快、没有三废排放、自动化水平高、产品质量不变、节约能源的特点，在光刻胶出产过程中宽泛利用。

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聂俊教授

　　杨国强副校长作了题为《超高精密光刻胶研发》的汇报。他指出，半导体器件的工艺节点从10μm降落到10nm，重要是由于光刻技术的飞速发展。高档光刻胶造作业被其他国度、地域的公司垄断，出格是日本和美国企业在市场和专利方面处于绝对的主导职位。对于国内发展示状，他强调，国内光刻胶研发远远落后于国内微电子造作业水平甚至国际光刻胶研发水平，无法满足微电子产业发展需要;他指出，光刻胶已经成为了国度但愿沉点支持的基础电子化学品资料，系统地发展高档光刻胶研发及其出产工艺的钻研，并有效组织有关产业化工作，对推进我国自主发展极大规模集成电路造作工业拥有极度沉要的战术意思。

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杨国强副校长

　　洪啸吟教授作了题为《光刻胶基础和无显影气相光刻技术》的汇报。他指出，多层光刻技术进一步提高了光致抗蚀剂的分辨率，它能够克服单层光刻中存在的衬底发射产生的驻波、基片不平引起的漫反射、光路中的折射和衍射等问题。提出了向传统挑战的无显影气相光刻技术，并指出，无显影气相光刻是成立在光致诱蚀剂浓度差的基础之上，不需显影、图形分辨率高、刻蚀纵宽比高，设备单一、操作安全。

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洪啸吟教授

　　康劲总经理作了题为《集成电路工艺发展对光刻胶的技术要求》的汇报。他指出，随着IC特点尺寸深亚微米发展，现有光刻胶已无法适应新的光刻工艺，光刻机的曝光波长也在由紫表光谱向极紫表光、X射线发展，甚至选取非光学光刻，光刻胶产品的综合个性也必须随之提高，能力切合集成工艺造程的要求。半导体用光刻胶市场，国内企业份额不及30%，与国际先进水平存在较大差距。超过80%市场份额把握在日本住友、TOK、美国陶氏等公司手中，国内公司中，信阳瑞红与北京科华实现了部门种类的国产化，但是整体技术水平较低，仅能进入8英寸集成电路出产线与LED等产线。

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康劲总经理

　　康文兵教授作了题为《半导体及显示器造作用光刻胶及周边资料》的汇报。他指出，光刻胶及周边资料成功的关键在于工艺节造、环境节造和操作节造，应拥有现实利用开发经验、量产经验，同时供给不变性及成本很沉要。

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康文兵教授

　　许从应副总裁作了题为《先进光刻胶近况》的汇报，赵荟鑫部长作了《显示负性光刻胶近况》的汇报，郑金福经理作了题为《光刻胶技术与利用》的汇报，孙逊运董事长作了题为《先进封装用光刻胶及其光刻胶技术瞻望》的汇报，刘斌经理作了题为《光刻胶用聚合物概述》的汇报，胡春青研发总监作了《彩色和玄色光刻胶用高感度光引发剂》的汇报，黄常刚BU总经理作了题为《欣奕华彩色光刻胶产品进展》的汇报，汇报内容丰硕，前瞻性凸起。

　　3)主题钻研

　　钻研环节，各人畅所欲言，畅所欲言。乐山天马、中电熊猫、鼎材科技、德纳化学等企业代表对下一步国内光刻胶行业若何发展发展了周到会商，给出了好多中肯的定见和建议，为国内下一步光刻胶发展提供了很好的参考。

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主题钻研

　　4)参观调查

　　会议第二天，与会的七十多名代表共赴沙巴电竞集团参观调查。沙巴电竞集团目前是中国平板显示、芯片级光刻胶、PCB油墨用配套树脂最大的供给商，是中国电子资料行业50强、电子化工资料专业10强企业。产品重要是电子级酚醛树脂和电子环氧树脂。目前沙巴电竞集团也参与了攻克国度亟需的卡脖子技术问题的阵列中，已实现5G电路板专用化学品研发工作，即将量产。沙巴电竞还积极开发用于半导体芯片、显示器件配套高端电子树脂，致力于为中国电子化学品领域做一份贡献。

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沙巴电竞参观

　　结语：

　　本次钻研会共吸引了京东方、天马微电子、南大光电、信阳瑞红、北旭电子、上海新阳、攀枝花欣奕华、强力新材、江苏广信等高低游企业，南开大学、北科大、北师大、北化大、丽江钻研所等有关高校和科研机构共计逾90家单元，近160名代表参会，对光刻胶产业健康发展起到了强有力的推进作用。作为一个大国，我国有发展光刻胶的必要性和刻意，光刻胶产业的发展，自主创新才是硬路理，等待各人携手做强光刻胶产业。最后衷心感激中国感光学会和赤峰沙巴电竞集团对本次大会的大力支持。

(本文转自：电子化工新资料产业联盟)

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